本实用新型涉及一种超高纯氮空分设备，可生产压力为5bara～11bara、纯度99.9999%的超高纯氮气，同时也可生产7%的超高纯液氮产品。空气过滤器与空气压缩机接通；空气压缩机与空冷塔接通；空冷塔与分子筛接通；分子筛与主换热器接通；主换热器与纯氮塔接通；纯氮塔底部与主换热器的接通；主换热器与冷凝蒸发器接通；冷凝蒸发器顶部与主换热器接通；主换热器与透平膨胀机接通；透平膨胀机与主换热器接通；主换热器与分子筛纯化系统接通；纯氮塔顶部与主换热器接通；纯氮塔中下部与主换热器接通；主换热器与冷凝蒸发器接通；冷凝蒸发器顶部与透平膨胀机接通；透平膨胀机与主换热器接通；主换热器与纯氮塔中下部接通。